• Plasmatreatment and systems

    Diener TETRA 30-100-150


    Basis configuratie

    • Volume van de kamer 30 - 50 - 100 - 150 liter
    • Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie
    • Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC)
    • Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts
    • Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen
    • Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz
    • Eén elektrode of multi-level elektrodes
    • RIE - elekrode optioneel
    • Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing

    Neem vrijblijvend contact op met ons