• Plasmatreatment and systems

    Diener FEMTO


    De FEMTO plasma cleaner is beschikbaar in verschillende configuraties.

    Basis configuratie

    • Volume van de kamer 1,9 tot 6 liter 
    • Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie 
    • Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC) 
    • Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts 
    • Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen 
    • Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz 
    • Eén elektrode of multi-level elektrodes RIE - elekrode optioneel 
    • Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing

    Neem vrijblijvend contact op met ons