< class="" >

    ATTO configuratie

    • Volume van de kamer 10,5 l
    • Vacuümpomp 2.5 of 5 m³/h
    • Gastoevoer enkel via naaldventielen
    • Vacuüm kamer 
    • Substraatdrager
    • Generator 40-100 kHz, 13.56 MHz 
    • Eén elektrode 
    • Manuele bediening